s4800扫描电镜的CSS3_Hitachi S-4800型场发射扫描电子显微镜+能谱

一、主要部件：

S-4800主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器)、X射线能谱仪，E-1030喷金喷碳装置等。

二、主要性能指标：

二次电子分辨率：1.0 nm(15 kV)；2.0 nm(1 kV)；背散射电子分辨率：3.0 nm (15 kV)；电子枪：冷场发射电子源，加速电压：0.5 ~ 30 kV(0.1 kV/步，可变)；放大倍率：×30 ~ × 800,000；X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92；喷金喷碳装置可以通特定的气氛保护样品。

三、设备特点及应用范围：

S-4800型高分辨场发射扫描电镜(简称S-4800)为日本日立公司于2002年推出的产品。该电镜的电子发射源为冷场，物镜为半浸没式。在高加速电压(15 kV)下，S-4800的二次电子图像分辨率为1 nm，这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压(1 kV)下的二次电子图像分辨率为2 nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布分析。此次所购X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92，从而可以分析轻元素。由于S-4800不能在低真空条件下工作，因此不适合直接观察含水和含油样品。

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总结

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